题名:
微机电系统设计 (MEMS) 和原型设计指南   / (美) Joel A. Kubby著 , 李会丹, 袁晓伟, 王景中译
ISBN:
978-7-118-09690-3 价格: CNY69.00
语种:
chi
载体形态:
134页 图 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 国防工业出版社 出版日期: 2014
内容提要:
本书描述和分析了大量的设计案例,涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试;此外,在本书每章的最后,都描述了MEMS设计的实践和挑战,并提供了相关的解决方案。 
主题词:
微电机   系统设计
中图分类法:
TM380.2 版次: 5
主要责任者:
库比
次要责任者:
李会丹
次要责任者:
袁晓伟
次要责任者:
王景中
附注:
装备科技译著出版基金 
责任者附注:
责任者Kubby规范汉译姓: 库比 
索书号:
3