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中图分类法:
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TN41-532 版次： |
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题名:
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Introduction to microlithography / / , |
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版次:
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2nd ed. |
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出版发行:
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出版地： Washington, DC : 出版社： American Chemical Society, 出版日期： c1994. |
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载体形态:
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xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm. |
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主题词:
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Microlithography Congresses. |
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主题词:
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Photoresists Congresses. |
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主题词:
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Plasma etching Congresses. |
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主题词:
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Semiconductors Etching |
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主要责任者:
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Thompson, L. F., |
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主要责任者:
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Willson, C. G. |
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主要责任者:
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Bowden, M. J., |
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索书号:
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1 |