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中图分类法:
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TN304-532 版次： |
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题名:
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Materials issues in vacuum microelectronics [ symposium held April 13-16, 1998, San Francisco, California, U.S.A. ] / , |
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出版发行:
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出版地： Warrendale, Pa. 出版社： Materials Research Society 出版日期： 2015. |
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载体形态:
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xi, 207 p. ill. 24 cm |
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附注:
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Originally published: 1998. |
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主题词:
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Microelectronics |
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主题词:
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Vacuum technology |
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主题词:
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Thin films |
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主题词:
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Field emission cathodes |
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主题词:
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Ion implantation |
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主要责任者:
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Zhu, Wei, |
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索书号:
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1 |