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中图分类法:
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TN604-532 版次： |
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题名:
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Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices II [ symposium held November 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.] / , |
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出版发行:
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出版地： Cambridge 出版社： Cambridge University Press 出版日期： 2014 |
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载体形态:
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xiii, 314 p ill 23 cm |
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主题词:
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Microelectromechanical systems |
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主题词:
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Microelectronics Materials |
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主题词:
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Microactuators Materials |
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主要责任者:
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De Boer, Maarten. |
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索书号:
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1 |