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中图分类法:
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TN304-532 版次： |
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题名:
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Materials, technology, and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics [ symposium held April 23-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A] / , |
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出版发行:
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出版地： Cambridge 出版社： Cambridge University Press 出版日期： 2014 |
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载体形态:
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614 p ill 24 cm |
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主题词:
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Semiconductors Materials |
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主题词:
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Semiconductors Junctions |
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主题词:
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Dielectric films |
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主题词:
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Integrated circuits Materials |
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主题词:
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Integrated circuits Reliability |
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主要责任者:
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Oehrlein, G. S. |
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索书号:
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1 |