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中图分类法:
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TN604-532 版次： |
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题名:
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Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices III : [ symposium held November 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A. /] / , |
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出版发行:
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出版地： Cambridge : 出版社： Cambridge University Press, 出版日期： 2014. |
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载体形态:
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366 p. : ill. ; 24 cm. |
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主题词:
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Microelectromechanical systems Materials |
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主要责任者:
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Kahn, Harold. |
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索书号:
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1 |