中图分类法:	TN4-532 版次：
题名:	Microelectromechanical systems--materials and devices [ symposium held November 26-28, 2007, Boston, Massachusetts, U.S.A. ] / ,
版次:	1st pbk. ed.
出版发行:	出版地： Warrendale, Pa. 出版社： Materials Research Society, 出版日期： 2012.
载体形态:	xi, 325 p. ill. 22 cm.
附注:	"First published 2008."
主题词:	Microelectromechanical systems Materials
主题词:	Microelectromechanical systems
主题词:	Thin films
主题词:	Nanostructured materials
主要责任者:	LaVan, David A.
索书号:	1