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题名:
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非硅MEMS技术及其应用 / 陈文元, 张卫平, 陈迪著 , |
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ISBN:
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978-7-313-12525-5 价格： CNY150.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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279页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海交通大学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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MEMS技术是二十世纪九十年代由IC技术发展而来, 二十一世纪得到迅猛发展的一项高新技术, 它集微传感器、微执行器、控制电路于一体, 涉及机、电、光、信息、微制造、材料等多学科交叉, 可广泛应用于信息、生物、汽车、医疗、国防等领域。非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的, 又与硅MEMS技术互为补充。作者及其团队长期从事非硅MEMS技术的研究。根据多年的研究, 在书中作者详细地叙述了非硅MEMS技术的特点, 非硅材料, 三维非硅微加工新技术, 新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。该书是作者长期从事非硅MEMS技术研究, 理论结合实际, 科学研究的总结。 |
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主题词:
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微电子技术 研究 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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主要责任者:
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陈文元 著 |
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主要责任者:
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张卫平 著 |
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主要责任者:
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陈迪 著 |
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附注:
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上海科技专著出版资金资助 上海交通大学学术出版基金资助项目 |
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索书号:
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3 |