|
题名:
|
微米纳米器件设计 / 黄庆安, 周再发, 宋竞著 , |
|
ISBN:
|
978-7-118-09784-9 价格： CNY118.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
xix, 358页, 16页图版 图 (部分彩图) 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2014 |
|
内容提要:
|
本书是MEMS设计的专著, 主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。在器件级设计中, 介绍微传感器和微执行器的工作原理, 偏微分方程和耦合偏微分方程的有限元网格划分、算法及后处理方法; 在系统级设计中介绍MEMS系统级建模方法, 例如接点分析法等效电路法、VHDL等; 在MEMS工艺模型中, 介绍主要加工方法如硅各向异性腐蚀、DRIE、UV-LIGA等工艺模型及相关算法( 元胞自动机、线算法等) 。最后介绍MEMS设计软件结构、模块以及使用方法和算例。 |
|
主题词:
|
纳米材料 微电子技术 |
|
中图分类法:
|
TN402 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
黄庆安 著 |
|
主要责任者:
|
周再发 著 |
|
主要责任者:
|
宋竞 著 |
|
附注:
|
“十二五”国家重点图书出版规划项目 |
|
索书号:
|
3 |