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中图分类法:
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O539 版次： |
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著者:
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Makabe, T. |
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题名:
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Plasma electronics : [ applications in microelectronic device fabrication /] / , |
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版次:
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Second edition. |
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出版发行:
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出版地： Boca Raton, FL : 出版社： CRC Press, Taylor & Francis Group, 出版日期： 2014. |
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载体形态:
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xxxv, 376 p. : ill. ; 24 cm. |
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主题词:
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Plasma engineering. |
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主要责任者:
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Petrovic?, Z. |
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索书号:
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1 |