题名:
芯片制造   / (美) Peter Van Zant著 , 韩郑生译
ISBN:
978-7-121-24336-3 价格: CNY59.00
语种:
chi
载体形态:
376页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 电子工业出版社 出版日期: 2015
内容提要:
本书是一本介绍半导体集成电路和器件制造技术的专业书籍,在半导体领域享有很高的声誉。本书的讨论范围包括半导体工艺的每个阶段:从原材料的制备到封装、测试和成品运输,以及传统的和现代的工艺。全书提供了详细的插图和实例,每章包含回顾总结和习题,并辅以丰富的术语表。第六版修订了微芯片制造领域的新进展,讨论了用于图形化、掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术,使隐含在复杂的现代半导体制造材料与工艺中的物理、化学和电子的基础信息更易理解。 
主题词:
芯片   半导体工艺
中图分类法:
TN430.5 版次: 5
其它题名:
半导体工艺制程实用教程
主要责任者:
桑特
次要责任者:
韩郑生
版次:
3版
责任者附注:
责任者Zant规范汉译姓: 桑特 
索书号:
5