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题名:
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半导体工艺与测试实验 / 谢德英 等编 , |
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ISBN:
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978-7-03-043646-7 价格： CNY34.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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182页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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本书介绍了与微电子技术有关的半导体工艺和测试方面的实验，包括半导体制备工艺的主要六个单项工艺实验，半导体材料与器件的常规测试实验，半导体工艺和器件特性仿真实验，以及衔接以上各单项实验综合器件设计、工艺制造、特性表征与检测的课题实验。 |
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主题词:
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半导体工艺 高等学校 |
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中图分类法:
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TN305-43 版次： 5 |
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主要责任者:
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谢德英 编 |
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主要责任者:
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陈晖 编 |
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主要责任者:
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黄展云 编 |
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索书号:
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5 |