题名:
先进光学元件微纳制造与精密检测技术   / 郭隐彪 ... [等] 编著 ,
ISBN:
978-7-118-09613-2 价格: CNY108.00
语种:
chi
载体形态:
xix, 320页 图 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 国防工业出版社 出版日期: 2014
内容提要:
本书以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 
主题词:
光学元件   制造
主题词:
光学元件   精密测试
中图分类法:
TH74 版次: 5
主要责任者:
郭隐彪 编著
附注:
国防科技图书出版基金 
索书号:
3