题名:
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先进光学元件微纳制造与精密检测技术 / 郭隐彪 ... [等] 编著 , |
ISBN:
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978-7-118-09613-2 价格: CNY108.00 |
语种:
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chi |
载体形态:
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xix, 320页 图 24cm |
出版发行:
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出版地: 北京 出版社: 国防工业出版社 出版日期: 2014 |
内容提要:
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本书以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 |
主题词:
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光学元件 制造 |
主题词:
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光学元件 精密测试 |
中图分类法:
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TH74 版次: 5 |
主要责任者:
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郭隐彪 编著 |
附注:
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国防科技图书出版基金 |
索书号:
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3 |