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题名:
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集成电路制造技术教程 / 李惠军编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-37032-1 价格： CNY39.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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315页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2014 |
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内容提要:
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本书主要包括：集成制造技术基础、硅材料及衬底制备、氧化介质薄膜生长、半导体的高温掺杂、离子注入低温掺杂、薄膜气相淀积工艺等。 |
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主题词:
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集成电路工艺 |
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中图分类法:
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TN405-43 版次： 5 |
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主要责任者:
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李惠军 编著 |
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索书号:
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5 |