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题名:
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多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用 / 王阳元等编著 , |
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ISBN:
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7-03-008035-1 价格： CNY48.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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704页 插图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2001 |
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内容提要:
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本书阐述了多晶硅薄膜的基本性质及工艺机理、应用等。 |
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主题词:
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多晶硅薄膜 |
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主题词:
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集成电路 |
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主要责任者:
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王阳元 编著 |
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版次:
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2版 |
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附注:
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中国科学院科学出版社基金资助出版 |
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附注:
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全国高技术重点图书 微电子技术领域 |
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索书号:
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8 |