题名:
纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计   / (美) Sandip Kundu, (印) Aswin Sreedhar著 , 王昱阳, 谢文遨译
ISBN:
978-7-03-040034-5 价格: CNY58.00
语种:
chi
载体形态:
261页 图 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 科学出版社 出版日期: 2014
内容提要:
本书的内容包括: CMOSVLSI电路设计的技术趋势; 半导体制造技术; 光刻技术; 工艺和器件的扰动和缺陷分析与建模; 面向可制造性的物理设计技术; 测量、制造缺陷和缺陷提取; 缺陷影响的建模和合格率提高技术; 物理设计和可靠性; DFM工具和DFM方法。 
主题词:
纳米材料   CMOS电路
中图分类法:
TN432.02 版次: 5
主要责任者:
孔杜
主要责任者:
斯里达兰
次要责任者:
王昱阳
次要责任者:
谢文遨
责任者附注:
责任者Kundu规范汉译姓: 孔杜; 责任者Sreedhar规范汉译姓: 斯里达兰 
责任者附注:
Sandip Kundu: 马萨诸塞大学阿姆赫斯特分校电气与计算机工程系的教授, 专业从事VLSI设计与测试。Aswin Sreedhar: 马萨诸塞大学阿姆赫斯特分校电气与计算机工程系的研究助理, 他的研究兴趣是面向VLSI系统的可制造性和电路可靠性设计的统计技术。 
索书号:
5