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题名:
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微机电系统（MEMS）制造技术 / 苑伟政，乔大勇著 , |
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ISBN:
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978-7-03-039974-8 价格： CNY128.00 |
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ISBN:
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978-7-03-039974-8 价格： CNY88.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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240页 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2014 |
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内容提要:
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本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。 |
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主题词:
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微机电 生产工艺 |
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中图分类法:
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TM380.5 版次： 5 |
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主要责任者:
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苑伟政 著 |
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主要责任者:
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乔大勇 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助出版 |
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索书号:
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5 |