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题名:
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薄膜材料制备原理、技术及应用 / 唐伟忠著 , |
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ISBN:
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978-7-5024-3097-9 价格： CNY28.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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323页 图 20cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 2003 |
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内容提要:
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本书以薄膜材料为中心，介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论等。 |
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主题词:
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薄膜 制备 |
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中图分类法:
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TQ320.72 版次： 5 |
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中图分类法:
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TB43 版次： 5 |
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主要责任者:
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唐伟忠 著 |
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版次:
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2版 |
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索书号:
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3 |