题名:
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超高真空
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崔遂先,王荣宗编著
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ISBN:
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978-7-122-17646-2
价格:
CNY68.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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236页
图
26cm
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出版发行:
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出版地:
北京
出版社:
化学工业出版社
出版日期:
2013
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内容提要:
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本书共分6章。比较全面系统地阐述了超高真空技术涉及的气体分子运动的经典理论、主要常用公式,各类超高真空扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵,超高真空阀门、挡板等元部件,超高真空测量,超高真空系统设计及维护运转。
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主题词:
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超高真空
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中图分类法:
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TB7
版次:
5
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主要责任者:
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崔遂先
编著
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主要责任者:
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王荣宗
编著
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索书号:
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3
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