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题名:
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基于机械-化学方法的微纳制造技术 / 史立秋著 , |
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ISBN:
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978-7-121-23712-6 价格： CNY39.80 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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93页 彩图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2014 |
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内容提要:
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本书针对该问题，提出“基于机械-化学方法的硅表面功能性微纳结构制造新方法”这一前沿性课题。全书共6章，叙述应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析，并对后期的应用进行系统的研究。 |
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主题词:
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半导体材料 枘米材料 |
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中图分类法:
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TN304.1 版次： 5 |
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主要责任者:
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史立秋 著 |
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附注:
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国家自然科学基金资助出版 2014年度黑龙江省高校新世纪优秀人才支持计划 |
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索书号:
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5 |