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题名:
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微系统光学检测技术 / (德) 伏尔夫岗·奥斯腾主编 , 王伯雄等译 |
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ISBN:
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978-7-111-45837-1 价格： CNY95.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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XVI, 442页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2014 |
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内容提要:
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微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。本书内容丰富，覆盖面广，汇聚了各国知名大学共28位作者的卓越成果。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。 |
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主题词:
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微电子技术 光学测量 |
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中图分类法:
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TB96 版次： 5 |
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主要责任者:
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奥斯腾 主编 |
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次要责任者:
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王伯雄 译 |
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索书号:
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3 |