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题名:
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微机电技术 / 田文超, 娄利飞编著 , |
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ISBN:
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978-7-5606-3335-0 价格： CNY50.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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412页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 西安 出版社： 西安电子科技大学出版社 出版日期： 2014 |
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内容提要:
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本书系统地介绍了微机电技术基本内容, 分析方法和主要应用, 包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件等。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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主要责任者:
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田文超 编著 |
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主要责任者:
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娄利飞 编著 |
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附注:
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“十二五”国家重点图书出版规划项目 陕西出版资金资助项目 |
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索书号:
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5 |