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题名:
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硅集成电路工艺基础
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关旭东编著
,
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ISBN:
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978-7-301-24109-7
价格：
CNY52.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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391页
图
23cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
北京大学出版社
出版日期：
2014
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内容提要:
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本书是《硅集成电路工艺基础》的第二版教材，作者在第一版的基础上系统的讲述了硅集成电路制造的基础工艺，加深了工艺物理基础和基本原理的介绍。增加了工艺集成例子的介绍。
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主题词:
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硅集成电路
高等学校
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中图分类法:
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TN4-43
版次：
5
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主要责任者:
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关旭东
编著
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版次:
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2版
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附注:
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普通高等教育“十五”国家级规划教材
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索书号:
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5
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