题名:
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MEMS材料与工艺手册 / (美) 利萨·格迪斯, 林斌彦著 , 黄庆安等译 |
ISBN:
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978-7-5641-4053-3 价格: CNY198.00 |
语种:
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chi |
载体形态:
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14, 966页 图 24cm |
出版发行:
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出版地: 南京 出版社: 东南大学出版社 出版日期: 2014 |
内容提要:
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微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺等。 |
主题词:
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微电子技术 电子材料 |
主题词:
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微电子技术 生产工艺 |
中图分类法:
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TN4 版次: 5 |
主要责任者:
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格迪斯 著 |
主要责任者:
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林斌彦 著 |
次要责任者:
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黄庆安 译 |
责任者附注:
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编目员自拟责任者汉译姓: 格迪斯 |
索书号:
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5 |