题名:
MEMS材料与工艺手册   / (美) 利萨·格迪斯, 林斌彦著 , 黄庆安等译
ISBN:
978-7-5641-4053-3 价格: CNY198.00
语种:
chi
载体形态:
14, 966页 图 24cm
出版发行:
出版地: 南京 出版社: 东南大学出版社 出版日期: 2014
内容提要:
微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺等。 
主题词:
微电子技术   电子材料
主题词:
微电子技术   生产工艺
中图分类法:
TN4 版次: 5
主要责任者:
格迪斯
主要责任者:
林斌彦
次要责任者:
黄庆安
责任者附注:
编目员自拟责任者汉译姓: 格迪斯 
索书号:
5