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题名:
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微机电系统和微结构及其在航天中的应用 / (美) 罗伯特·奥西安德, M. 安·加里森·达林, 约翰·L. 钱皮恩著 , 尤政译 |
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ISBN:
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978-7-302-33485-9 价格： CNY49.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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17, 247页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2013 |
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内容提要:
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本书共16章，主要内容包括：概论，微机电系统技术在航天任务中的应用前景，MEMS加工技术，空间环境因素对MEMS技术的影响，空间辐射影响和微机电系统，MEMS技术在空间系统的应用，微加工技术在科学仪器方面的应用，微机电系统在航天器通信中的应用，航天器热控制中的微系统，航天器制导、导航和控制中的微系统，微推进技术，空间应用的MEMS封装技术，关键性空间应用的处理与污染控制考虑，MEMS应用的材料选择，基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试，航天微机电系统与微结构的保障方法等。 |
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主题词:
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微电子技术 应用 |
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主题词:
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微型 机械元件 |
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中图分类法:
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V4-05 版次： 5 |
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主要责任者:
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奥西安德 著 |
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主要责任者:
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达林 著 |
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主要责任者:
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钱皮恩 著 |
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次要责任者:
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尤政 译 |
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索书号:
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5 |