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题名:
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微机电系统原理 / (韩) Ki Bang Lee著 , 马晓军 ... 等译 |
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ISBN:
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978-7-118-09432-9 价格： CNY180.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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x, 597页 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2014 |
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内容提要:
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本书通过一种统一的方法和微观力学问题的解析解(封闭形式解)阐述了MEMS的原理。全书以概述MEMS开始，并介绍了量纲分析，提供了在宏观和微观世界中存在的基本无量纲参数。然后说明了微制造，给出了设计实际MEMS的一般制造工艺相关的知识。提供了元件和系统的理论模型，并获得了静态和动态响应的解析解。 |
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主题词:
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微电机 理论 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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主要责任者:
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李基邦 著 |
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次要责任者:
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马晓军 译 |
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责任者附注:
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责任者Ki Bang Lee汉译名: 李基邦 |
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索书号:
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5 |