中图分类法:
TM38 版次:
题名:
System-level modeling of MEMS / / ,
出版发行:
出版地: Weinheim : 出版社: Wiley-VCH, 出版日期: c2013.
载体形态:
xxxii, 530 p. : ill. ; 25 cm.
主题词:
Microelectromechanical systems.
主题词:
Microelectromechanical systems Mathematical models.
主要责任者:
Bechtold, T.
主要责任者:
Schrag, Gabriele.
主要责任者:
Feng, Lihong.
索书号:
0