题名:
微电机结构工艺学
/ 张子忠,王铁成编著 ,
ISBN:
7-5603-0080-4 价格： ￥21.50
语种:
chi
载体形态:
299页 插图 26cm
出版发行:
出版地： 哈尔滨 出版社：
哈尔滨工业大学出版社
出版日期： 1997
内容提要:
本书主要介绍微电机（包括小功率及特殊用电机）的结构、制造工艺和结构工艺性等问题。
主题词:
微电机
工艺学
中图分类法:
TM38 版次： 4
主要责任者:
张子忠
编著
主要责任者:
王铁成
编著
版次:
2版(修订版)
索书号:
5