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题名:
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基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究 / 王璐著 , |
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ISBN:
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978-7-81129-500-9 价格： CNY23.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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273页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 哈尔滨 出版社： 黑龙江大学出版社 出版日期： 2013 |
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内容提要:
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本书采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术，设计并制作了硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MOSFETs脉象传感器。 |
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主题词:
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脉象仪 研究 |
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中图分类法:
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TH789 版次： 5 |
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主要责任者:
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王璐 著 |
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索书号:
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5 |