题名:	Multilayer integrated film bulk acoustic resonators / 张亚非, 陈达著 ,
ISBN:	978-7-313-08736-2 价格： CNY68.00
语种:	eng
载体形态:	iv, 152页图 25cm
出版发行:	出版地：上海出版社：上海交通大学出版社出版日期： 2012
内容提要:	本书共有9章，系统地阐述了FBAR的基本原理、设计方法、关键技术及对材料体系的要求，有着较高的学术和应用价值。
主题词:	膜集成电路声表面波谐振器
中图分类法:	TN62 版次： 5
主要责任者:	张亚非著
主要责任者:	陈达著