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题名:
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RF MEMS器件设计、加工和应用 RF MEMS qi jian she ji、 jia gong he ying yong / 朱健编著 , |
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ISBN:
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978-7-118-08501-3 价格： CNY99.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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23,272页，20页图版 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2012 |
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内容提要:
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本书系统介绍了RF MEMS技术所涵盖的各类器件，以RF MEMS理论设计和工艺实现为基础，阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备等，详细论述了RF MEMS设计方法、技巧以及工艺技术，论述了RF MEMS器件的封装技术和可靠性问题。 |
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主题词:
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微电子技术 元器件 |
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中图分类法:
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TN6 版次： 5 |
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主要责任者:
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朱健 zhu jian 编著 |
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附注:
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“十二五”国家重点图书出版规划项目 国家科学技术学术著作出版基金资助出 总装备部国防科技图书出版基金资助 |