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题名:
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MEMS可靠性 / (美) Allyson L. Hartzell, Mark G. da Silva, (瑞士) Herbert R. Shea著 , 恩云飞, 贾玉斌, 黄钦文译 |
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ISBN:
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978-7-121-18805-3 价格： CNY55.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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13, 220页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2012.11 |
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内容提要:
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本书是关于MEMS可靠性的一本专著, 主要内容包括: 用于寿命预测的可靠性统计理论, MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式, MEMS在使用中的失效模式, MEMS的失效根源及分析, MEMS的试验和鉴定标准, 以及提升MEMS可靠性的工具和技术。 |
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主题词:
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微电子技术 可靠性 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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主要责任者:
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哈策尔 著 |
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主要责任者:
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席尔瓦 著 |
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主要责任者:
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谢伊 著 |
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次要责任者:
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恩云飞 译 |
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次要责任者:
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贾玉斌 译 |
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次要责任者:
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黄钦文 译 |
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责任者附注:
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Hartzell规范汉译姓: 哈策尔 Silva规范汉译姓: 席尔瓦 Shea规范汉译姓: 谢伊 |