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题名:
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Fabrication engineering at the micro-and nanoscale / (美) 斯蒂芬 A·坎贝尔著 , 严利人, 张伟等译 |
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ISBN:
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978-7-121-13428-9 价格： CNY83.00 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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640页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2011.05 |
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内容提要:
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本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术, 覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺, 包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发等。 |
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主题词:
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微电子技术 英文 |
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中图分类法:
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TN4-43 版次： 4 |
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主要责任者:
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坎贝尔 著 |
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次要责任者:
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严利人 译 |
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次要责任者:
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张伟 译 |