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题名:
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微机电系统基础 / (美) Chang Liu著 , 黄庆安译 |
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ISBN:
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978-7-111-40657-0 价格： CNY69.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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13, 397页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2013 |
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内容提要:
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本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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主要责任者:
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刘昶 著 |
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次要责任者:
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黄庆安 译 |
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责任者附注:
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责任者汉译名取自在版编目: 刘昶 |