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中图分类法:
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TU834.8 版次： |
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著者:
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Whyte, W. |
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题名:
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Cleanroom technology : [ fundamentals of design, testing and operation /] / , |
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版次:
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2nd ed. |
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出版发行:
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出版地： Hoboken, NJ : 出版社： John Wiley & Sons, 出版日期： 2010. |
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载体形态:
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xi, 367 p. : ill. ; 24 cm. |
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附注:
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Includes index. |
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主题词:
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Clean rooms. |