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题名:
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聚合物微纳制造技术
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王立鼎 ... [等] 编著
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ISBN:
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978-7-118-08359-0
价格：
CNY83.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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XXI, 208页
图
24cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
国防工业出版社
出版日期：
2012.11
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内容提要:
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本书主要内容包括: 绪论 ; 聚合物材料结构特征与性能 ; 微注塑成型 ; 微热压成型 ; 软刻蚀方法 ; 高能束微纳刻蚀 ; 聚合物微纳器件封合与集成等。
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主题词:
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微电子技术
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中图分类法:
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TN4
版次：
5
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主要责任者:
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王立鼎
编著
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附注:
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“十二五”国家重点图书出版规划项目
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