题名:
半导体制造技术导论   / (美) 萧宏著 , 杨银堂, 段宝兴译
ISBN:
978-7-121-18850-3 价格: CNY69.00
ISBN:
978-7-121-18850-3 价格: CNY59.00
语种:
chi
载体形态:
20, 459页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 电子工业出版社 出版日期: 2013.01
内容提要:
本书共包括15章: 介绍了半导体制造工艺 ; 基本的半导体工艺技术 ; 半导体器件、集成电路芯片, 以及早期的制造工艺技术 ; 晶体结构、单晶硅晶圆生长, 以及硅外延技术 ; 半导体工艺中的加热过程等内容。 
主题词:
半导体工艺  
中图分类法:
TN305 版次: 5
主要责任者:
萧宏
次要责任者:
杨银堂
次要责任者:
段宝兴