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题名:
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微米纳米器件测试技术 / 张文栋等编著 , |
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ISBN:
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978-7-118-07897-8 价格： CNY88.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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259页, [16] 页图版 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2012.10 |
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内容提要:
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本书主要内容有微纳测试技术概述、微纳几何量测试技术、微纳动态测试技术、微纳力学量测试技术、MEMS在线测试技术、典型微纳器件测试技术等。 |
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主题词:
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纳米材料 微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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主要责任者:
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张文栋 编著 |