题名:
硅微机械传感器
/ 郑志霞著 ,
ISBN:
978-7-308-10879-9 价格： CNY35.00
语种:
chi
载体形态:
199页 图 26cm
出版发行:
出版地： 杭州 出版社：
浙江大学出版社
出版日期： 2012
内容提要:
本书围绕硅微机械传感器的基本原理、工艺技术、应用领域及接口电路等几个方面展示了介绍和讨论。
主题词:
传感器
中图分类法:
TP212 版次： 5
主要责任者:
郑志霞
著