|
题名:
|
压电薄膜材料与器件制备技术 / 张涛著 , |
|
ISBN:
|
978-7-5612-3480-8 价格： CNY28.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
191页 图 23cm |
|
出版发行:
|
出版地： 西安 出版社： 西北工业大学出版社 出版日期： 2012 |
|
内容提要:
|
本书主要分为压电薄膜制备技术和薄膜压电器件制备技术两部分, 讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术, 内容包括: 压电薄膜基础理论, 压电薄膜制备技术与进展等。 |
|
主题词:
|
压电薄膜 压电材料 |
|
主题词:
|
压电薄膜 压电器件 |
|
中图分类法:
|
TM22 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
张涛 著 |
|
附注:
|
国防特色学术专著 学术专著·材料科学与工程 |