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题名:
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International Conference on Microlithography(1981 : Lausanne) / , |
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ISBN:
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价格： ￥4.00 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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546 p. |
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出版发行:
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出版地： Lausanne 出版社： Swiss Federal Institute of Technology 出版日期： 1981 |
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其它题名:
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Microcircuit engineering 81 |
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主要团体责任者:
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International Conference on Microlithography |
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索书号:
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1 |