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题名:
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薄膜材料科学 / (美) Milton Ohring著 , 刘卫国 ... 译 |
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ISBN:
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978-7-118-08144-2 价格： CNY188.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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15, 484页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2013 |
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内容提要:
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本书详细介绍了薄膜材料科学的各个方面，内容包括真空科学与技术、薄膜热蒸发过程、薄膜制备的等离子体与离子束工艺等。本书内容广泛，资料全面，是一本薄膜材料科学领域的权威之作。 |
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主题词:
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薄膜 工程材料 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 5 |
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主要责任者:
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奥林 著 |
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次要责任者:
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刘卫国 译 |
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次要责任者:
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蔡长龙 译 |
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次要责任者:
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梁海锋 译 |
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附注:
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装备科技译著出版基金 西安工业大学专著出版基金资助 |