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题名:
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微机电系统机械学 / 张向军编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-30017-5 价格： CNY25.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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157页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2012.09 |
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内容提要:
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本书重点揭示了微系统的表面界面效应、微纳米尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微纳米系统阐述了应用实例。本书可以作为微机电系统及相关专业本科生或者研究生教材，也可以作为微机电系统设计开发的研究生和科研技术人员的参考书。 |
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主题词:
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微电机 高等学校 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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张向军 编著 |