|
题名:
|
Integrated circuit metrology, inspection and process control V (1991 : San Jose) / , |
|
ISBN:
|
价格： ￥70.00 |
|
语种:
|
eng |
|
载体形态:
|
630 p. |
|
出版发行:
|
出版地： Bellingham 出版社： SPIE 出版日期： 1991 |
|
主要团体责任者:
|
Integrated circuits metrology, inspection and process control V |
|
索书号:
|
1 |