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题名:
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Integrated circuit metrology inspection, and process control IV (1990 : San Jose, Calif.) / , |
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ISBN:
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价格： ￥48.90 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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528 p. |
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出版发行:
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出版地： Bellingham, Wash. 出版社： SPIE 出版日期： 1990 |
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主要责任者:
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Arnold |
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主要团体责任者:
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Integrated circuit metrology inspection, and process control IV |
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索书号:
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1 |