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题名:
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薄膜技术与薄膜材料 / 田民波, 李正操编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-27483-4 价格： CNY49.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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13,531页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2011 |
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内容提要:
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本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用4大部分，涉及大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池、材料表面改性等领域。 |
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主题词:
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薄膜技术 |
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主题词:
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薄膜 工程材料 |
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主题词:
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薄膜 |
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主题词:
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工程材料 |
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中图分类法:
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TB43 版次： 5 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 5 |
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主要责任者:
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田民波 编著 |
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主要责任者:
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李正操 编著 |