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题名:
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Integrated circuit metrology, inspection, and process control VI (1992 : San Jose) / , |
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ISBN:
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0-8194-0828-X 价格： ￥188.00 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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697 p. |
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出版发行:
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出版地： Bellingham 出版社： SPIE 出版日期： 1992 |
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主要团体责任者:
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Integrated circuit metrology, inspection, and process control VI |
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索书号:
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1 |