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题名:
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纳米压印技术
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周伟民[等] 编著
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ISBN:
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978-7-03-032559-4
价格：
CNY68.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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255页
图
24cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
科学出版社
出版日期：
2012
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内容提要:
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本书首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状；然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等，并着重阐述了纳米压印加工制造技术；此外，还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。
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主题词:
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纳米材料
应用
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中图分类法:
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TN4
版次：
5
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主要责任者:
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周伟民
编著
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