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题名:
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微机电系统基础 / (美)Chang liua著 , |
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ISBN:
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978-7-111-35827-5 价格： CNY79.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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576页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2011 |
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内容提要:
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本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的技术论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。 |
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主题词:
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微电机 英文 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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主要责任者:
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刘昶 著 |
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版次:
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第2版 |