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题名:
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纳机电基础效应与器件 / 张文栋等著 , |
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ISBN:
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978-7-03-032282-1 价格： CNY80.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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322,40页 彩图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2011 |
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内容提要:
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本书论述了纳机电器件的基本概念、尺度效应和耦合问题，纳机电器件基础结构的制造、测试和表征方法，并对纳机电加速度传感器、纳机电声传感器、纳机电谐振器、微流体角速度传感器等典型纳机电器件进行了深入阐释。 |
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主题词:
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纳米技术 应用 |
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中图分类法:
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TM303 版次： 5 |
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主要责任者:
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张文栋 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助出版 |